成果事例

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2016.06.21

平成27年度技術シーズ育成事業のご紹介

 長野県テクノ財団では、大学等の技術シーズを、県内企業における新技術・新製品等の早期事業化に繋げるため、産学連携による以下の研究グループに対して開発支援を行いました。 

 

【スマート赤外線センサーシステムの研究開発】

 

研究メンバー      株式会社テクノロジー・イノベーション

                 長野県工業技術総合センター

 

担当コーディネータ   小林 広嗣(ナノテク・国際連携センター)

  

研究開発概要

 焦電型MEMS赤外線センサー素子とセンサー用微小信号処理ICを、MEMS技術により超薄型ウェハレベルパッケージとしてSiP(System in Package)化し、業界最高レベルの低背を実現しながらアクティブノイズフィルタリングとデジタル出力をワンパッケージでシステム化された赤外線センサーの試作を実施した。

 

 本研究開発要素は薄型パッケージベース基板開発、焦電材料を用いた小型MEMSセンサー素子開発、超微小電流を検出しデジタル出力を可能とする専用IC開発、パッケージCAPと可視光フィルターを兼ねるSi-CAPおよびこれを接合封止する技術開発と多岐に渡る。

 試作品ではサイズ5mm×5mm 高さ1mmを実現し、赤外線センサーとしてもサイズ的にきわめて小型でありながらICを内蔵したSiPとして実現することが出来た。

 

 今後は実用化を目指し、更なるパッケージ信頼性向上と電気特性改善および低コスト化を進めていく予定です。

Photo

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