成果事例

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2016.03.04

平成26年度技術シーズ育成事業のご紹介(その2)

 長野県テクノ財団では、大学等の技術シーズを、県内企業における新技術・新製品等の早期事業化に繋げるため、産学連携による以下の研究グループに対して開発支援を行いました。 

 

【エアロゾルデポジション法を用いた機能性セラミック皮膜の開発】

 

研究メンバー      アスザック株式会社、長野県工業技術総合センター

 

担当コーディネータ   荒井 健(善光寺バレー地域センター)

  

研究開発概要

 液晶・半導体製造装置等で使用されるセラミック部材には極めて低い発塵性が要求されており、従来プロセス(焼結、機械加工)の延長だけでは対応が困難な状況となりつつある。これに対して最近では成膜技術を用いた部材製造方法も検討されているが、生産性やコストの点で課題が残る状況である。

 アロゾルデポジション法は、高速に加速された原料粒子が基板に衝突すると微細破壊を起こしながら付着する現象を利用して高速で成膜を行う技術である。

 この時、皮膜の結晶粒は原料粉よりも大幅に微細化(~20nm)されることから、低発塵性皮膜を生成すると共に生産性の改善が可能である。

本研究では主に成膜条件の探索を中心に検討を進めたが、原材料粉末の開発を進めることで成膜品質を更に向上できることが判明しており、新技術活用促進事業を活用して研究を継続して生産設備開発に繋げる。

 

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